用于边缘抛光设备的保湿喷液装置
基本信息
| 申请号 | CN202123211735.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216940041U | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN216940041U | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | B24B29/02（2006.01）I;B24B55/03（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 胡金廷;沈文雷 | 申请（专利权）人 | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 221000江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于边缘抛光设备的保湿喷液装置，所述保湿喷液装置位于所述边缘抛光设备的上方，所述保湿喷液装置包括：保湿机构，所述保湿机构限定出导液腔，所述保湿机构具有与所述导液腔连通的进液口和出液口，所述进液口设于所述保湿机构的一侧且适于与水源连通，所述出液口设于所述保湿机构的底壁；喷淋管，所述喷淋管设于所述保湿机构的侧壁，所述喷淋管与所述导液腔连通，所述喷淋管的自由端具有喷淋口，所述喷淋口的喷淋方向与所述出液口的喷淋方向不同。根据本实用新型的保湿喷液装置，既可以实现对移载搬运手臂和硅片进行保湿，又可以对缺角抛光机构进行清洗，有利于减少制程中的污染，保持良好的制程环境。 |
