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具有定位功能的单面抛光机上料托盘及上料提醒装置

基本信息

申请号 CN202123349150.8 申请日 -
公开（公告）号 CN216940093U 公开（公告）日 2022-07-12
申请公布号 CN216940093U 申请公布日 2022-07-12
分类号 B24B37/34（2012.01）I;B24B37/005（2012.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 沈文雷;邵晓东 申请（专利权）人 中环领先（徐州）半导体材料有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 221000江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种具有定位功能的单面抛光机上料托盘及上料提醒装置，所述上料托盘包括背部限位板和底部承托板，限位板底部与承托板后部连接，所述承托板上表面前部左右两侧对应位置安装一用于定位片盒的定位块，两定位块相对侧对应位置开设有凹槽，凹槽与片盒前部开口处左右两侧延伸部底部的凸起部过盈配合，能够确保片盒准确地放置在上料位置上，避免机械手在取片时刮到片盒。所述提醒装置包括上述上料托盘，以及与抛光机相连的压力传感器和报警器，PLC控制器根据接收到的压力信息判断是否提醒工作人员上料或更换片盒，无需无需人工实时监管上料情况，有效地降低了工作人员的工作量，同时避免了上料托盘上无料的情况。