可竖移止晃的提拉机构及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202210342263.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114686979A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114686979A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | C30B27/02（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈俊宏 | 申请（专利权）人 | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 221004江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种可竖移止晃的提拉结构及其使用方法，提拉结构包括：籽晶夹，籽晶夹用于固定籽晶，籽晶夹的至少部分外周面为回转形的配合面；软轴，软轴下端连接籽晶夹，软轴构造成能够牵引籽晶夹旋转和升降；限位件，限位件为一个且环绕籽晶夹设置，或者限位件为多个且环绕籽晶夹分布，限位件构造成能够绕软轴的旋转轴线旋转，且限位件在第一位置和第二位置之间可竖向移动，限位件的朝向软轴的旋转轴线的至少部分表面为限位面；在第一位置时限位件的限位面位于配合面的上方，在第二位置时限位面位于配合面的高度范围内。本发明的提拉机构，能够快速稳定籽晶夹的晃动，减少对晶棒生长的影响。 |
