一种基片台
基本信息
| 申请号 | CN202220264646.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216786306U | 公开（公告）日 | 2022-06-21 |
| 申请公布号 | CN216786306U | 申请公布日 | 2022-06-21 |
| 分类号 | C30B25/12（2006.01）I;C30B29/04（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 鲁振海;黎振坤;王蒙;张春林;常新磊 | 申请（专利权）人 | 河南天璇半导体科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 郑州睿信知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 450000河南省郑州市河南自贸试验区郑州片区（郑东）龙湖中环路与龙源西四街交叉口启迪郑东科技城产促中心2楼226号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种基片台，基片台包括内支撑和外环，内支撑与外环分体设置，内支撑装于外环的内孔中，内支撑的上端面低于外环的上端而在外环内形成放置槽，基片台还包括上托片，放置槽用于放置上托片，上托片上设有多个贯通孔，上托片放置在放置槽内后，上托片和内支撑在贯通孔处围成用于放置籽晶的生长槽；通过分体设置的外环和内支撑形成用于放置上托片的放置槽，使得外环和内支撑能够分别进行加工，内支撑的上端面不受外环的影响，从而能够对内支撑的上端面进行充分地抛光处理，使其与上托片接触的接触面较为光滑，避免存在接触间隙，增强了散热效果。 |
