一种钕铁硼重稀土渗透方法及其装置
基本信息
| 申请号 | CN202111237731.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113690043B | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN113690043B | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | H01F41/02（2006.01）I;H01F1/057（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 房栋;刘英民;姜燕;郝树仁;韩雪;胡蝶 | 申请（专利权）人 | 天津三环乐喜新材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张海洋 |
| 地址 | 300000天津市滨海新区经济技术开发区洪泽路22号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉一种钕铁硼重稀土渗透方法及其装置，包括主体、中频电源、冷却液循环装置、补气装置与抽真空装置，主体为密闭结构，中频电源固定在主体外部，中频电源通过电源线分别连接有左铜极板和右铜极板，基板安装在主体内部，基板接地，冷却液循环装置、补气装置和抽真空装置均固定在主体外部，并通过各自的管路与主体连接，左靶材固定在左铜极板上，右靶材固定在右铜极板上。本发明采用中频孪生靶溅射技术，沉积速率非常快，是直流单靶的数倍；膜内缺陷低，本发明装置采用滚筒式结构，可以让工件表面沉积的镀膜更均匀,多靶头以及可旋转靶头的设计，不但可以充分利用装置内部空间，还可实现靶源的快速切换，减少靶材的更换频率，提高生产效率。 |
