一种晶圆曝光机
基本信息
| 申请号 | CN201910790896.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110554578A | 公开（公告）日 | 2019-12-10 |
| 申请公布号 | CN110554578A | 申请公布日 | 2019-12-10 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01） | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 邵金元 | 申请（专利权）人 | 石狮市玛旭贸易有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 362700 福建省泉州市石狮市凤里街道镇中路凤凰城10#2505 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆曝光机，其结构包括机箱、盖板、支撑座、伸缩体、曝光结构、控制箱，盖板安装于机箱上端并且采用铰链连接，支撑座安装于盖板上端并且相焊接，伸缩体安装于支撑座正面并且采用机械连接，曝光结构水平安装于伸缩体下端并且设于机箱上方，控制箱位于机箱前端；曝光结构包括底板、工作平台、支架、上板、光源、掩膜结构，工作平台水平安装于底板上端，支架竖直安装于工作平台上端，上板位于支架上方并且机械连接于伸缩体下方，本发明在掩膜结构下方设置了工作平台，更好的对熔解的光刻胶进行汇集，并且不会与平台粘结，易于晶圆的取下，同时对于下一次的晶圆放置更加平顺，提高了晶圆的曝光质量。 |
