一种用于石英舟装载硅片时的自动控制整形矫正装置

基本信息

申请号 CN202120728535.6 申请日 -
公开(公告)号 CN215299270U 公开(公告)日 2021-12-24
申请公布号 CN215299270U 申请公布日 2021-12-24
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 胡绍莱;张春亮;王斯海;肖圣义 申请(专利权)人 通威太阳能(金堂)有限公司
代理机构 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 代理人 邓芸
地址 610000四川省成都市金堂县淮口镇金乐路东段1号(金堂工业园区内)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于石英舟装载硅片时的自动控制整形矫正装置,涉及太阳电池制造技术领域,包括用于装载硅片的石英舟组件、驱动石英舟组件水平横向移动的水平控制伺服系统,所述石英舟组件一侧水平设置有用于整形矫正硅片位置的且高度可调节的复合整形矫正机构,还包括控制复合整形矫正机构和水平控制伺服系统启停的控制器;本实用新型结构简单,能够对石英舟在水平方向和复合整形矫正机构的高度方向进行自动控制调节,达到位置精确可控,从而使硅片放入石英舟后不会因为石英舟高度的偏差导致整形后错槽、碎片、崩缺。