一种电子级八氟环戊烯的提纯方法
基本信息
申请号 | CN201910809769.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110483234B | 公开(公告)日 | 2021-12-07 |
申请公布号 | CN110483234B | 申请公布日 | 2021-12-07 |
分类号 | C07C17/38(2006.01)I;C07C17/383(2006.01)I;C07C17/389(2006.01)I;C07C23/08(2006.01)I;B01D53/02(2006.01)I;B01D53/22(2006.01)I;B01D53/26(2006.01)I;B01D67/00(2006.01)I;B01D71/76(2006.01)I;B01J20/20(2006.01)I;B01J20/30(2006.01)I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
发明人 | 陈刚;张晓东;张广第;周井森;张学良;李军;张雪刚;夏添;张云峰 | 申请(专利权)人 | 浙江博瑞电子科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 324004浙江省衢州市柯城区衢化街道北苑村29幢310室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及精细化工领域,具体关于一种电子级八氟环戊烯的提纯方法;包含有精馏提纯、低温吸附提纯和加压吸附提纯等步骤;本发明的使用气相法从易得到的原料环戊烯得到最终的产物八氟环戊烯,本发明采用低温精馏技术,同时结合低温吸附技术和加压吸附技术对八氟环戊烯进行纯化,并且采用经过改性的椰子壳炭作为介孔低温吸附剂,再经过膜分离进一步分离提纯,使八氟环戊烯产品中含水分杂质体积浓度≤5ppm,氧气杂质体积浓度≤3.5ppm并且使传统工艺难以分离的氮气体积浓度≤1ppm,有效地提高产品的纯度并实现八氟环戊烯产品的纯度在99.999%以上,满足半导体与微电子工业中对于电子特气的要求。 |
