一种高铬铝合金靶材及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202210092184.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114101677A | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN114101677A | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | B22F3/15（2006.01）I;B22F1/052（2022.01）I;C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 铸造；粉末冶金; |
| 发明人 | 王新锋;刘李旭;向长淑;陈斌科;姚甜;孙恒超;肖成桥;苏腾飞;郭栋 | 申请（专利权）人 | 西安赛隆增材技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 西安亚信智佳知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 骆怡洁 |
| 地址 | 710018陕西省西安市经济技术开发区凤城十二路凯瑞A座303-46室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开实施例是关于一种高铬铝合金靶材及制备方法。该方法包括：根据铬铝合金靶材的两相结构要求确定铬铝合金靶材的性能参数的数值范围；根据铬铝合金靶材的性能参数的数值范围确定制备铬铝合金靶材的工艺方法；利用工艺方法进行铬铝合金靶材的制备；其中，两相结构由铬相和铬铝合金相组成，且相互穿插均匀分布，铬铝合金靶材的性能参数数值范围为：铬相的面积占比为10%～35%，铬铝合金相的面积占比为65%～90%。本公开实施例通过根据铬铝合金靶材的两相结构要求确定铬铝合金靶材的性能参数的数值范围，利用制备工艺制备出符合具有两相结构的铬铝合金靶材，提高了镀膜的均匀性及机械加工性能。 |
