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大宗特殊气体供应系统及其输送管道

基本信息

申请号 CN202022847606.2 申请日 -
公开（公告）号 CN214222748U 公开（公告）日 2021-09-17
申请公布号 CN214222748U 申请公布日 2021-09-17
分类号 F17D1/02（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;F16L55/02（2006.01）I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 隋英羿 申请（专利权）人 浙江东开半导体科技有限公司
代理机构 杭州裕阳联合专利代理有限公司 代理人 司晓蕾
地址 310000浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道科技园路57号17幢915-918室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种大宗特殊气体供应系统及其输送管道，涉及气体供应技术领域，包括供应管道和缓冲管道，所述供应管道一端用于与气体供应设备连接，供应管道的另一端用于连接气体分配设备，所述缓冲管道位于供应管道的两端之间，且缓冲管道靠近供应管道用于连接气体分配设备的一端，所述缓冲管道的直径大于供应管道的直径。提高供应管道的流体补充能力，可在生产设备大量使用特殊气体的瞬间，为气体供应设备到气体分配设备之间的供应管道的流体补充赢得时间，保证供应管道压力的稳定。