一种气体分流模块化装置
基本信息
| 申请号 | CN202022654100.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213872220U | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN213872220U | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | F17D1/04（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;B01D46/00（2006.01）I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 陈志强 | 申请（专利权）人 | 浙江东开半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 | 代理人 | 田金霞 |
| 地址 | 310000浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道科技园路57号17幢915-918室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种气体分流模块化装置，其特征在于，包括主管进气系统、多个支路出气系统和VCR接头，所述主管进气系统通过VCR接头与所述支路出气系统相连接，相邻两个支路出气系统通过VCR接头相连接。本实用新型提供的有益效果在于原有设备使用后，支路数量需要变更时，可以在原有基础上快速变动扩充，缩短了所需要的时间，减少了扩充的费用，解决了使用气体分流盘VMP现场改造洁净控制的问题。 |
