硅烷尾气排放系统
基本信息
| 申请号 | CN202023062525.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214147939U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214147939U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | F23G7/06（2006.01）I | 分类 | 燃烧设备；燃烧方法; |
| 发明人 | 隋英羿 | 申请（专利权）人 | 浙江东开半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 | 代理人 | 田金霞 |
| 地址 | 310000浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道科技园路57号17幢915-918室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了硅烷尾气排放系统，涉及环保技术领域，包括尾气排放管道和竖直设置的燃烧管，所述尾气排放管一端与燃烧管连接，尾气排放管另一端用于连接气体供应设备；所述燃烧管一端与尾气排放管道连接，燃烧管另一端倾斜设有弯管，所述弯管与尾气排放管道之间的夹角为90～135°。燃烧管的设置避免将尾气输送至工厂的燃烧塔进行处理，节约了成本。弯管的设置使燃烧管处于半开放状态，避免尾气在密闭空间内燃烧存在的爆炸风险，同时避免燃烧后的粉尘扩散进大气中，污染环境。 |
