一种防止三甲基铝雾化废气废液堵塞管道系统
基本信息
| 申请号 | CN202022408791.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213872214U | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN213872214U | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | F17D1/02（2006.01）I;F17D1/08（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;F17D1/18（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 孙兆冉 | 申请（专利权）人 | 浙江东开半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 | 代理人 | 金方玮 |
| 地址 | 310018浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道科技园路57号17幢915-918室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种防止三甲基铝雾化废气废液堵塞管道系统，包括三甲基铝原料柜、三甲基铝缓冲柜、三甲基铝分流盘、三甲基铝废气废液处理器、真空泵以及管道，所述管道包括VENT排放管与真空管道，所述管道外设有多个加热装置，所述VENT排放管和真空泵的排放管在远离真空泵出口处合并。本实用新型采用VENT排放管道加热法，有效的加强了三甲基铝雾化流体及部分三甲基铝液体有效流通，采用提前并入法，有效的减少了VENT排放的小口径管道的用量；采用多次吹扫法，有效的减少AL2O3粉末的积累。 |
