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大宗特殊气体供应系统

基本信息

申请号 CN202023121644.6 申请日 -
公开（公告）号 CN214222752U 公开（公告）日 2021-09-17
申请公布号 CN214222752U 申请公布日 2021-09-17
分类号 F17D1/04（2006.01）I;F17D1/075（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;F17D5/00（2006.01）I;F17C13/08（2006.01）I;F17C13/00（2006.01）I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 隋英羿 申请（专利权）人 浙江东开半导体科技有限公司
代理机构 杭州裕阳联合专利代理有限公司 代理人 司晓蕾
地址 310000浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道科技园路57号17幢915-918室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了大宗特殊气体供应系统，涉及特殊气体供应技术领域，包括深度吹扫箱组和主供应柜，所述深度吹扫箱组和主供应柜通过气体管道连接起来，所述深度吹扫箱组为两套，所述每套深度吹扫箱组包括至少两个并联设置的深度吹扫箱，所述每个深度吹扫箱设有瓶头接口，所述瓶头接口用于连接气体储存设备。这样的设计增加了存储设备的数量，提高持续供气的能力，同时精简构造，减少气体泄露发生的几率。