基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器专利查询专利号|摘要-满商公司网

基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器

基本信息

申请号	CN201821229095.4	申请日	-
公开（公告）号	CN208537079U	公开（公告）日	2019-02-22
申请公布号	CN208537079U	申请公布日	2019-02-22
分类号	G01L9/08（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	郭风祥; 盖志刚; 姜辛; 张涛; 张妹; 胡鼎; 邱慧敏; 禹定峰; 孙小玲; 王宜豹	申请（专利权）人	青岛浦泽海洋科技有限公司
代理机构	青岛华慧泽专利代理事务所（普通合伙）	代理人	山东省科学院海洋仪器仪表研究所
地址	266000 山东省青岛市崂山区同安路880号5层H17室
法律状态	-

摘要

本实用新型属于海洋环境监测设备技术领域，涉及一种用于检测海水压力的传感器。一种基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层；所述基底位于底座的顶面，其内部形成有应力腔；绝缘层位于基底的顶面，且位于应力腔的正上方；压力敏感层位于绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料，或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；所述电极包括四个，分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上；所述防护层沉积在绝缘层的顶面，并将压力敏感层和电极封装在其内。本实用新型的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移，提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。