一种金刚石薄膜深海温度传感器
基本信息
申请号 | CN201721322903.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN207502079U | 公开(公告)日 | 2018-06-15 |
申请公布号 | CN207502079U | 申请公布日 | 2018-06-15 |
分类号 | G01K13/02 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 郭风祥;盖志刚;张涛;张妹;邱慧敏;李恒;李正军 | 申请(专利权)人 | 青岛浦泽海洋科技有限公司 |
代理机构 | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 |
地址 | 266000 山东省青岛市崂山区同安路880号5层H17室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种金刚石薄膜深海温度传感器,包括一端密封的筒状金属耐压外壳,所述金属耐压外壳内纵向设有片状金刚石基底,所述金刚石基底一侧设有温度响应元件,所述温度响应元件为双螺旋线状结构,所述温度响应元件两端设有与外部信号采集电路连接的引线,所述温度响应元件和引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层,所述陶瓷或类金刚石绝缘层与金属耐压外壳接触;所述温度响应元件为硼掺杂金刚石薄膜材料,同时公开了该温度传感器的制备方法,本实用新型所公开的深海温度传感器响应速度快、结构稳定、不受外界海水压力的影响。 |
