一种金刚石薄膜深海温度传感器

基本信息

申请号 CN201721322903.7 申请日 -
公开(公告)号 CN207502079U 公开(公告)日 2018-06-15
申请公布号 CN207502079U 申请公布日 2018-06-15
分类号 G01K13/02 分类 测量;测试;
发明人 郭风祥;盖志刚;张涛;张妹;邱慧敏;李恒;李正军 申请(专利权)人 青岛浦泽海洋科技有限公司
代理机构 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 代理人 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
地址 266000 山东省青岛市崂山区同安路880号5层H17室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种金刚石薄膜深海温度传感器,包括一端密封的筒状金属耐压外壳,所述金属耐压外壳内纵向设有片状金刚石基底,所述金刚石基底一侧设有温度响应元件,所述温度响应元件为双螺旋线状结构,所述温度响应元件两端设有与外部信号采集电路连接的引线,所述温度响应元件和引线表面覆盖有陶瓷或类金刚石绝缘层,所述陶瓷或类金刚石绝缘层与金属耐压外壳接触;所述温度响应元件为硼掺杂金刚石薄膜材料,同时公开了该温度传感器的制备方法,本实用新型所公开的深海温度传感器响应速度快、结构稳定、不受外界海水压力的影响。