一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN201821231269.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208568143U | 公开（公告）日 | 2019-03-01 |
| 申请公布号 | CN208568143U | 申请公布日 | 2019-03-01 |
| 分类号 | G01L7/08（2006.01）I; G01L9/06（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郭风祥; 盖志刚; 张涛; 张妹; 胡鼎; 刘寿生; 曹琳; 王韶琰; 柴旭; 王宜豹 | 申请（专利权）人 | 青岛浦泽海洋科技有限公司 |
| 代理机构 | 青岛华慧泽专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 |
| 地址 | 266000 山东省青岛市崂山区同安路880号5层H17室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于海洋环境监测仪器技术领域，涉及一种用于检测海水压力的传感器。一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和金属外壳；其中，基底位于底座的顶面，其内部形成有应力腔；绝缘层位于基底的顶面；压力敏感层位于绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；电极包括四个，分别设置在形成所述压力敏感层的四块薄膜上；金属外壳安装在所述基底的顶面，并将所述绝缘层、压力敏感层和电极封装在其内，在金属外壳环绕形成的腔体内封装有液压油。本实用新型的海水压力传感器可以抑制传感器结构失稳与信号漂移，提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。 |
