一种转移装置
基本信息
| 申请号 | CN202110540942.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113410169A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113410169A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L33/00（2010.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐长奇;李运钧;郭冉 | 申请（专利权）人 | 深圳市百柔新材料技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张全文 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝龙社区宝清路8号双环工业区A栋4楼、1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种转移装置，应用于Micro‑LED芯片。转移装置包括吸附模板和固定在吸附模板上的腔体，吸附模板与腔体之间形成空气腔；吸附模板上设置有贯穿吸附模板的吸附孔阵列，吸附孔阵列中的每个吸附孔的尺寸小于待转移的Micro‑LED芯片的尺寸，腔体上设置有气体通道，气体通道与压力设备连接；当压力设备减小空气腔的气压时，吸附阵列将待转移的Micro‑LED芯片吸附在吸附孔上；将Micro‑LED芯片转移至目标基板后，当压力设备增大空气腔的气压时，吸附阵列释放吸附孔上的Micro‑LED芯片。通过改变吸附孔阵列中的吸附孔设置的密度实现Micro‑LED芯片的宏量转移。 |
