制造微纳尺寸同轴管的方法

基本信息

申请号 CN201310224867.0 申请日 -
公开(公告)号 CN103305884A 公开(公告)日 2013-09-18
申请公布号 CN103305884A 申请公布日 2013-09-18
分类号 C25D7/00(2006.01)I;C25D5/02(2006.01)I;C25D5/04(2006.01)I;C25D17/00(2006.01)I;C25D21/12(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 分类 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕;
发明人 俞敏莉;郑建红;李立峰 申请(专利权)人 宁波微极电子科技有限公司
代理机构 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 代理人 代忠炯
地址 315194 浙江省宁波市鄞州区首南街道新兴工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种制造微纳尺寸同轴管的方法,它包括以下步骤:1)提供一个导电基板和三个不同尺寸内径(D1,D2,D3)的微电解导管,且D1