微纳结构阵列散热片的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201310656925.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103668367B | 公开（公告）日 | 2016-07-20 |
| 申请公布号 | CN103668367B | 申请公布日 | 2016-07-20 |
| 分类号 | C25D5/02(2006.01)I;C25D7/00(2006.01)I;C25D3/12(2006.01)I;F28F3/04(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 分类 | 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕; |
| 发明人 | 俞敏莉;郑建红;李立峰 | 申请（专利权）人 | 宁波微极电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 宁波微极电子科技有限公司 |
| 地址 | 315194 浙江省宁波市鄞州区首南街道新兴工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种微纳结构阵列散热片的制造方法，它包括以下步骤:1）制备一个由N×M个微电解导管组成的微电解导管阵列模板；2）控制每个微电解导管在导电基板上完成由（n×N）×（m×M）个微纳金属柱组成的微纳结构阵列骨架；3）将步骤2)中制备好的微纳结构阵列骨架置于电镀液中电镀1-5μm厚的多孔镍层，即可制得微纳结构阵列散热片；本发明材料利用率高、所制备的散热片有效散热面积大、散热效率高。 |
