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制造微纳尺寸同轴管的方法

基本信息

申请号 CN201310224867.0 申请日 -
公开（公告）号 CN103305884B 公开（公告）日 2015-10-28
申请公布号 CN103305884B 申请公布日 2015-10-28
分类号 C25D7/00(2006.01)I;C25D5/02(2006.01)I;C25D5/04(2006.01)I;C25D17/00(2006.01)I;C25D21/12(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 分类 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕;
发明人 俞敏莉;郑建红;李立峰 申请（专利权）人 宁波微极电子科技有限公司
代理机构 宁波市鄞州甬致专利代理事务所（普通合伙） 代理人 宁波微极电子科技有限公司
地址 315194 浙江省宁波市鄞州区首南街道新兴工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种制造微纳尺寸同轴管的方法，它包括以下步骤:1）提供一个导电基板和三个不同尺寸内径(D1,D2,D3)的微电解导管，且D1<D2<D3；2）采用微区电解沉积系统，用内径为D1的微电解导管在导电基板上电沉积A材料的柱状结构，柱的直径为D1；3）围绕直径为D1的A材料的柱状结构，用内径为D2的微电解导管在导电基板上电沉积B材料的直管状微纳结构；4）围绕步骤3）中制得的外径为D2的B材料直管状微纳结构，用内径为D3的微电解导管在导电基板上用材料A电沉积直管状微纳结构，本发明能利用普通单层玻璃微电解导管高效率、高控制精度的直接制备微纳尺寸同轴管。