一种超微缺陷检测装置及其检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110878028.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113325006A | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN113325006A | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | G01N21/95（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 雷枫;张武杰;吕晓云;张铅 | 申请（专利权）人 | 中科慧远视觉技术（洛阳）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100088北京市海淀区中关村南一条甲1号ECO中科爱克大厦801室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种超微缺陷检测装置及其检测方法，装置包括成像模块、光源模块、滤波模块和安装平台，成像模块进一步包括相机、成像透镜和物镜，相机、成像透镜与物镜从上至下依次垂直排列，光源模块进一步包括准直镜、光源发生器和分光束镜，光源发生器和分光束镜相连，准直镜安装在光源发生器与分光束镜之间；滤波模块进一步包括空间滤波器，空间滤波器安装在成像透镜和物镜之间。本申请采用非接触缺陷检测方式，不会破坏待测物体表面，适用于检测易损伤表面的缺陷；与常用的光学显微成像系统相比，本申请既有高分辨率、又有大视场，能够识别分布于数十毫米范围内的亚微米大小缺陷。 |
