一种四自由度磁场测试装置
基本信息
| 申请号 | CN201710485717.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109116274B | 公开（公告）日 | 2021-06-11 |
| 申请公布号 | CN109116274B | 申请公布日 | 2021-06-11 |
| 分类号 | G01R33/10;G01R33/12;G05D3/12 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 贾晓亮;王凯波 | 申请（专利权）人 | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 马强 |
| 地址 | 101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种四自由度磁场测量装置，包括：龙门运动平台模块（1）、探头连杆模块（2）、旋转平台模块（3）。其中龙门运动模块（1）由三个直线运动平台连接而成，可以通过电机实现沿X、Y、Z三个方向的运动，从而准确控制探头的移动位置及坐标；探头连杆模块（2）由连杆底座、连杆、高斯探头组成。高斯探头位于连杆前端，可作360°转动，以便于测量磁场的不同分量；旋转平台模块（3）由水平平台、旋转台组成，旋转台用于固定龙门运动平台，其能够实现一定角度的旋转，从而调整磁测角度。本发明涉及磁铁测量装置，隶属于半导体制造领域。 |
