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一种检测束流角度的方法

基本信息

申请号 CN201610589036.7 申请日 -
公开（公告）号 CN108010827B 公开（公告）日 2021-08-27
申请公布号 CN108010827B 申请公布日 2021-08-27
分类号 H01J37/317 分类 基本电气元件;
发明人 不公告发明人 申请（专利权）人 北京中科信电子装备有限公司
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 代理人 马强
地址 101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种检测束流角度的方法，通过三个组成一排的法拉第来检测束流偏转角度，每个法拉第中有5个电流检测传感器，分别是顶部传感器、左边传感器、底部传感器、右边传感器、中心传感器，其中中心传感器由其他四个传感器包围。中心传感器是主要采集束流大小的，其他四个传感器是为了检测束流偏转方向以及角度而设计的，也是用来检测偏转的束流大小。通过这四个传感器分别检测到的束流值，与中心传感器检测到的束流值进行比较，计算得出束流偏转的方向和角度。简单介绍下整个束流角度测量的装置。在法拉第前面是石墨光栏，吸收无法检测到的束流。通过法拉第检测到的束流来判断束流偏转角度。