一种二自由度电扫描装置
基本信息
| 申请号 | CN201810754734.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110718432B | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN110718432B | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | H01J37/02（2006.01）I;H01J37/30（2006.01）I;H01J37/317（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马国宇;王锦喆 | 申请（专利权）人 | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 马强 |
| 地址 | 101111北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种二自由度电扫描装置，用于将斑点状离子束扫描成水平条形发散离子束，所述装置包括，基板（1），将电扫描装置安装在真空腔体上并具有真空密封作用；左扫描电极（2）与右扫描电极（6）成对使用，分别在两个扫描电极上施加不同的变化电压，这样离子束被水平扫开；通过在抑制电极（4）上施加负电压用于阻止二次电子向前传输；真空电极（5）用于真空腔室内外电压传输，在真空内分别连接两个扫描电极，在大气端连接扫描电源；驱动装置（3）和驱动装置（7）可以控制两个扫描电极相对束流中心做相向运动，同时还可以驱动两个扫描电极相对基板（1）同时前后移动。 |
