一种分段式等离子体束扫描装置
基本信息
| 申请号 | CN201810754776.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110718436B | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN110718436B | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | H01J37/317（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张喻召 | 申请（专利权）人 | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 马强 |
| 地址 | 101111北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种分段式等离子体束扫描装置，包括：前极板、中间极板、后极板、绝缘瓷柱、运动轴。三对扫描电极板可以单独加独立的电压；三对电极板可以沿运动轴方向运动，从而控制电极板之间的距离。在离子注入过程中，扫描电极用于将等离子体束流宽带化。当高能离子束通过扫描板时，可以减小扫描板之间的距离，从而减小所需要的扫描电源的电压；在低能离子束通过扫描板时，可以增大扫描板之间的距离，使低能扫描板上电压不至于太小，减小电压波动对于离子束注入的影响。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 |
