一种离子注入机中通用可编程的束流骤变监测及响应系统
基本信息
| 申请号 | CN201811284396.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111128662B | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN111128662B | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | H01J37/317（2006.01）I;H01J37/304（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 田龙;袁志敏;郭世卿 | 申请（专利权）人 | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 101111北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种离子注入机中通用可编程的离子束流骤变监测及响应系统，涉及半导体装备制造领域，尤其涉及离子注入机中对离子束流瞬态变化（Glitch）的监测与响应。此系统通过可编程的硬件架构，可快速准确地捕捉Glitch的发生，还可与离子注入机中的剂量控制系统协同作业，实现对Glitch做出微秒级别响应，以解决离子注入机中由于Glitch发生引起的工艺产品失效。 |
