一种双向聚焦质量分析器
基本信息
| 申请号 | CN201811357795.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111190215B | 公开（公告）日 | 2022-02-15 |
| 申请公布号 | CN111190215B | 申请公布日 | 2022-02-15 |
| 分类号 | G01T1/29（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张喻召;肖志强;李士会 | 申请（专利权）人 | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 马强 |
| 地址 | 101111北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种双向聚焦质量分析器，包括：磁轭（1）、磁极（2）、线圈（3）、磁屏蔽板（4）、真空盒（5）。质量分析器磁极半径R为400mm，偏转角度为90°，磁极间距D为50mm，焦距1为83mm，入射角α和出射角β均为27.58°，质量分析器的质量分辨率为125。磁屏蔽板（4）距离磁极边界距离为50mm。在离子注入机上，质量分析器的作用是通过加不同的电流，使离子束有不同的运动轨迹，加上分析光栏后即可对离子种类进行筛选。束流通过双向聚焦的质量分析器后，会在水平方向与竖直方向分别对束流产生聚焦作用，在水平方向产生一个焦点，配合分析光栏筛选离子；在竖直方向也有聚焦作用，减小束流竖直方向发散度，提高束流的传输效率。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 |
