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一种用于真空氮化的高精度真空动态控制系统

基本信息

申请号	CN201510813120.8	申请日	-
公开（公告）号	CN105331925B	公开（公告）日	2018-02-27
申请公布号	CN105331925B	申请公布日	2018-02-27
分类号	C23C8/24	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	黄跃学;邓乔枫;卞健;林国强	申请（专利权）人	金财互联控股股份有限公司
代理机构	无锡互维知识产权代理有限公司	代理人	王爱伟
地址	224199 江苏省盐城市经济技术开发区南翔西路333号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种用于真空氮化的高精度真空动态控制系统，包括真空炉罐、进气系统和排气系统，所述进气系统与所述排气系统通过所述真空炉罐相连接，所述进气系统包括第一进气管道及第二进气管道；所述排气系统包括排气管道，所述排气管道上设有抽真空系统，所述第一进气管道上设有第一进气控制装置，所述第一进气控制装置用于控制所述第一进气管道的进气量；所述第二进气管道上设有第二进气控制装置，所述第二进气控制装置用于控制所述第二进气管道的进气量；所述排气管道上设有排气控制装置，所述排气控制装置用于控制所述排气管道的排气量。本发明通过精确动态控制进气及出气量，显著降低了真空炉罐内的压强波动，确保氮化处理工件的质量稳定性和重现性。