一种用于真空腔体的磁力控制机构
基本信息
| 申请号 | CN202122367891.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216998565U | 公开（公告）日 | 2022-07-19 |
| 申请公布号 | CN216998565U | 申请公布日 | 2022-07-19 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨星;李长江;周文彬;徐全军;王文静 | 申请（专利权）人 | 苏州晟成光伏设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市高新区铜墩街188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于真空腔体的磁力控制机构，该种用于真空腔体的磁力控制机构包括磁力从动机构（1）、密封法兰（2）、腔壁（3）、密封圈（4）、磁力主动机构（5）和两组磁铁（6），磁力主动机构（5）从腔壁（3）的腔外穿到真空腔内，磁力主动机构（5）头部套有密封法兰（2），所述密封法兰（2）及密封圈（4）将腔壁（3）上开孔密封，磁力主动机构（5）的头部有固定磁铁，磁力从动机构（1）固定有配合磁铁，两机构在密封法兰（2）两边通过磁力线相互作用实现特定的运动，实现真空密封且运动配合传动。通过上述方式，本实用新型结构简单，安装拆卸方便，成本低，将腔体外旋转或平移运动转变为腔内转动、偏转或顶升等运动。 |
