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一种光刻胶灌装装置

基本信息

申请号 CN202020665670.6 申请日 -
公开（公告）号 CN212127491U 公开（公告）日 2020-12-11
申请公布号 CN212127491U 申请公布日 2020-12-11
分类号 B67C3/26(2006.01)I;B67C3/22(2006.01)I 分类 开启或封闭瓶子、罐或类似的容器；液体的贮运;
发明人 宋里千 申请（专利权）人 厦门恒坤新材料科技股份有限公司
代理机构 北京力量专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 厦门恒坤新材料科技股份有限公司
地址 361000福建省厦门市海沧区东孚镇山边路389号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及光刻胶生产技术领域,尤其涉及一种光刻胶灌装装置,包括取胶筒，所述取胶筒沿筒周身一圈设置有周向分布的储胶室若干个，储胶室的出口处设置有可滑动盖合所述储胶室的闸板，取胶筒的顶部设置有推动油缸，推动油缸的底部输出端设置有可上下升降的安装架，安装架的底部安装有负压泵，负压泵的输入端设置有吸取管头、负压泵的输出端设置有灌装管头，本实用新型解决了光刻胶无法保持定量灌装涂抹，会影响硅片的产品质量的问题，通过本灌装装置可以确保每一次定量抽取并灌装光刻胶的胶液，灌装过程可持续进行，人工作业量降低，对生产工艺起到了明显的促进作用，硅片产品的生产质量得到提升，适宜推广使用。