聚合物、硬掩膜组合物及形成图案的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910609647.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112194780A | 公开（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申请公布号 | CN112194780A | 申请公布日 | 2021-01-08 |
| 分类号 | C08G61/12;G03F1/38;G03F1/56 | 分类 | 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物; |
| 发明人 | 王静;肖楠 | 申请（专利权）人 | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 地址 | 363118 福建省厦门市海沧区海沧大道567号厦门中心E座19楼1904室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及光刻领域，尤其涉及聚合物、硬掩膜组合物及形成图案的方法。本发明提供一种聚合物，包括由式(1)所示化合物形成的重复单元。本发明还提供一种硬掩膜组合物，包括所述聚合物和溶剂。本发明中的聚合物由含有高碳含量的咔唑与芘基稠合在一起形成。包含该聚合物的硬掩膜组合物，具有优异的耐刻蚀性和热稳定性，可以通过旋涂的方法形成性能良好的硬掩膜。利用所述硬掩膜组合物进行光刻图案化，简单方便。 |
