一种匀胶显影机用光刻胶回收装置
基本信息
| 申请号 | CN202020671612.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211718693U | 公开（公告）日 | 2020-10-20 |
| 申请公布号 | CN211718693U | 申请公布日 | 2020-10-20 |
| 分类号 | G03F7/30(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 陈炳添 | 申请（专利权）人 | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京力量专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 地址 | 361000福建省厦门市海沧区东孚镇山边路389号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及匀胶显影机技术领域，尤其涉及一种匀胶显影机用光刻胶回收装置，解决了现有技术在匀胶显影机的工作过程中会使用到较多的光刻胶，而这些光刻胶在旋转匀胶的过程中，会被甩落较多，造成资源的浪费的缺点，包括匀胶机，其外表面设置有控制面板，且匀胶机的底部设置有多个支脚，匀胶罐设置于匀胶机的顶部，且匀胶罐的内部安装有作业盘，所述匀胶罐的内部两侧均开设有安装槽及装载口，支板一侧设置有回收柜。本实用新型利用T型结构的安装杆及安装槽，实现支板与匀胶罐的组装连接，对晶圆片旋转匀胶过程中甩出的光刻胶进行回收二次利用，且通过装载口可方便的对安装杆进行分离组装，保持光刻胶的回收工作持续性进行。 |
