首页/ 苏州舜治自动化机械设备有限公司/ 专利详情

晶圆检测红外光转向机构及方法

基本信息

申请号 CN202010400819.2 申请日 -
公开（公告）号 CN111692977A 公开（公告）日 2020-09-22
申请公布号 CN111692977A 申请公布日 2020-09-22
分类号 G01B11/06;G01N21/59 分类 测量；测试;
发明人 淦克金;杨铮;吴志锋 申请（专利权）人 苏州舜治自动化机械设备有限公司
代理机构 北京化育知识产权代理有限公司 代理人 尹均利
地址 215156 江苏省苏州市吴中区胥口镇浦庄大道3999号1幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种晶圆检测红外光转向机构及方法，从红外测试机发出的红外光经过反射镜反射以15°的入射角射在晶圆表面进行反射或透射；对于反射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆反射到晶圆上方的曲面镜一上，红外光经曲面镜一汇聚到接收器一上用于分析测试晶圆的厚度；对于投射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆透射到晶圆下方的曲面镜二上，红外光经曲面镜二汇聚到接收器二上用于检测晶圆的碳氧含量。本发明晶圆检测红外光转向机构同时兼容反射与透射功能为一体，用于检测晶圆的厚度与碳氧含量，程序上自动切换，无需手动操作，提高生产质量与效率。