一种晶圆红外检测测试设备
基本信息
| 申请号 | CN201922082196.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211401091U | 公开（公告）日 | 2020-09-01 |
| 申请公布号 | CN211401091U | 申请公布日 | 2020-09-01 |
| 分类号 | G01B11/06(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 淦克金;杨铮;吴志锋 | 申请（专利权）人 | 苏州舜治自动化机械设备有限公司 |
| 代理机构 | 合肥方舟知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘跃 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴中区胥口镇浦庄大道3999号1幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种晶圆红外检测测试设备，包括机架和保护罩，机架上安装洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架，机架内部安装控制器，支撑架上安装红外测试机和红外光路系统，红外光路系统中部设置晶圆检测位，洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架均设置在保护罩内部。本实用新型通过洁净多轴机器人自动搬运晶圆，晶圆自动校正器自动校正晶圆的圆心，红外测试机发出红外光射入红外光路系统，红外光经反光镜照射在晶圆上分别反射和透射后进入上红外测试接收器和下红外测试接收器，并将红外光信号传输至测试机实现晶圆厚度和碳氧含量的自动检测，提高工作效率和检测精度，同时降低人力成本。 |
