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一种芯片拾取装置

基本信息

申请号	CN201910859426.5	申请日	-
公开（公告）号	CN110854051A	公开（公告）日	2020-02-28
申请公布号	CN110854051A	申请公布日	2020-02-28
分类号	H01L21/677	分类	基本电气元件;
发明人	嵇群群;孙永武	申请（专利权）人	深圳市奥维特机电有限公司
代理机构	北京风雅颂专利代理有限公司	代理人	芜湖德锐电子技术有限公司
地址	518100 广东省深圳市龙岗区坪地街道坪西社区西元路156号C栋101
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种芯片拾取装置，涉及芯片加工技术领域，包括：传送带、拾取部、第二抽风机、驱动部和控制部，传送带呈网状结构，芯片在传送带上进行转移；拾取部包括吸盘、第一抽风机和电缸，吸盘设置在传送带的上方，第一抽风机通过抽风管与吸盘连通，电缸与吸盘动力连接，用于驱动吸盘上下移动；驱动部与电缸动力连接，用于驱动电缸在水平方向上来回移动；第二抽风机设置在传送带的下方；控制部与第二抽风机电性连接，用于控制当吸盘与传送带上的芯片接触时，第二抽风机停止工作，当芯片离开传送带上后，第二抽风机开始工作。本发明可以将芯片上的污染颗粒去除，保证了芯片被吸取前芯片上没有污染颗粒，避免了污染颗粒对芯片后续加工造成影响。