一种芯片拾取装置
基本信息
| 申请号 | CN201910859426.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110854051B | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN110854051B | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 嵇群群;孙永武 | 申请（专利权）人 | 深圳市奥维特机电有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市深可信专利代理有限公司 | 代理人 | 刘昌刚 |
| 地址 | 518100 广东省深圳市龙岗区坪地街道坪西社区西元路156号C栋101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种芯片拾取装置，涉及芯片加工技术领域，包括：传送带、拾取部、第二抽风机、驱动部和控制部，传送带呈网状结构，芯片在传送带上进行转移；拾取部包括吸盘、第一抽风机和电缸，吸盘设置在传送带的上方，第一抽风机通过抽风管与吸盘连通，电缸与吸盘动力连接，用于驱动吸盘上下移动；驱动部与电缸动力连接，用于驱动电缸在水平方向上来回移动；第二抽风机设置在传送带的下方；控制部与第二抽风机电性连接，用于控制当吸盘与传送带上的芯片接触时，第二抽风机停止工作，当芯片离开传送带上后，第二抽风机开始工作。本发明可以将芯片上的污染颗粒去除，保证了芯片被吸取前芯片上没有污染颗粒，避免了污染颗粒对芯片后续加工造成影响。 |
