电磁驱动式石墨电弧溅射镶嵌探头

基本信息

申请号 CN201510968062.6 申请日 -
公开(公告)号 CN105603372B 公开(公告)日 2018-03-27
申请公布号 CN105603372B 申请公布日 2018-03-27
分类号 C23C14/35;H01M4/587;H01G11/32;H01G11/86 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 韩炜;张世达;周亮;弗拉基米尔·伊佐托夫;付成伟 申请(专利权)人 长春吉大科诺科技有限责任公司
代理机构 长春吉大专利代理有限责任公司 代理人 王淑秋;王恩远
地址 130012 吉林省长春市超群街191号
法律状态 -

摘要

摘要 一种电磁驱动式石墨电弧溅射镶嵌探头,属于机械设计与电子工程技术领域,是由振动发生装置与被动电弧发生电路两部分组成;振动发生装置用于产生一定频率与幅度的机械振动,使石墨棒周期性接触待加工薄膜电极,以满足被动电弧发生电路的电弧发生条件;被动电弧发生电路的功能在于在石墨棒与待加工薄膜电极分离的瞬间在石墨棒与薄膜电极之间产生孤光放电,放电过程中产生的多种高速运动粒子撞击石墨棒使石墨颗粒脱离石墨棒并镶嵌在薄膜电极表面。本发明所述探头简化和缩小了薄膜电极表面石墨镶嵌加工所需设备,从而极大地提高了生产速度与加工质量,使薄膜电极极片改性的大规模生产成为可能。