一种禁带宽度可控的铜锌锡硫硒薄膜材料的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201410514152.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104393096A | 公开（公告）日 | 2015-03-04 |
| 申请公布号 | CN104393096A | 申请公布日 | 2015-03-04 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张春江 | 申请（专利权）人 | 上海科慧太阳能技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳华奇信诺专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 上海科慧太阳能技术有限公司;安科智慧城市技术（中国）有限公司 |
| 地址 | 200092 上海市虹口区曲阳路379、383号四层4024室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种禁带宽度可控的铜锌锡硫硒薄膜材料的制备方法，其包括以下步骤：在沉积有背电极层的衬底上制备铜锌硒合金预制层；铜锌锡合金预制层在具有硫源及硒源的惰性气氛环境下进行热处理，得到铜锌锡硫硒薄膜材料。采用上述方案，本发明采用同步硫化、硒化法，工艺流程简单，材料均匀性好，能实现铜锌锡硫硒薄膜材料的元素组分精确控制，禁带宽度可调，具有很高的市场应用价值。 |
