一种双光源白光干涉仪
基本信息
| 申请号 | CN202022761333.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213932397U | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN213932397U | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | G01B11/24（2006.01）I;G01B9/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 欧灿娟;夏雪婷 | 申请（专利权）人 | 珠海博明传感器技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京华际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 邓大文 |
| 地址 | 519000广东省珠海市高新区唐家湾镇软件园街（路）1号生产加工中心5#一层8单元B区04-06室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种双光源白光干涉仪，包括第一红光LED、第一透镜、第二透镜、第一分光棱镜、第三透镜、窄带滤光片、第四透镜、第二红光LED、第一LED光源座、第一压盖、第二压盖、第一棱镜座、透镜隔圈、窄带透镜座、透镜压圈以及干涉系统构件，所述第一分光棱镜位于第一棱镜座的顶部，所述第四透镜设置于第一分光棱镜的一侧处，且所述第四透镜的外部处设置有透镜压圈，所述第二透镜设置于第一分光棱镜靠近于第四透镜的一侧处，本实用新型通过在原有的红光LED光源的基础上，增加一个窄带光源，窄带光源光谱宽度很小，相干性好，相干长度长，可测量台阶高度差较大或者表面轮廓起伏较大的样品，增强了仪器的适用性。 |
