一种激光波导芯片的封装方法
基本信息
申请号 | CN201811279126.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111123431B | 公开(公告)日 | 2021-08-24 |
申请公布号 | CN111123431B | 申请公布日 | 2021-08-24 |
分类号 | G02B6/12(2006.01)I;G02B6/42(2006.01)I | 分类 | 光学; |
发明人 | 刘敬伟;仝飞;姜磊 | 申请(专利权)人 | 国科光芯(海宁)科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张建纲 |
地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区漕河泾路17号4幢 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种激光波导芯片的封装方法,包括:将激光器芯片和热敏电阻焊接在第一陶瓷基板上;将光波导芯片焊接在第二陶瓷基板上;将第一陶瓷基板固定在第二陶瓷基板上;将光波导芯片、激光器芯片、热敏电阻与第一陶瓷基板进行电气互联;将雪崩光电二极管芯片贴装在基板上;将贴装反射镜的反射镜支架、半导体制冷器、第二陶瓷基板及基板一起焊接在管壳内,其中,雪崩光电二极管芯片的光敏面与光波导芯片的相位检测片垂直对齐;在管壳的表面封装滤波片。本发明具有如下优点:采用倒装的方式将APD芯片倒置于光波导芯片上方,尽可能的缩短了光在传播过程中的损耗,从而可以检测到更微弱的光信号。 |
