一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具
基本信息
| 申请号 | CN202021601090.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212665835U | 公开（公告）日 | 2021-03-09 |
| 申请公布号 | CN212665835U | 申请公布日 | 2021-03-09 |
| 分类号 | B24C1/08(2006.01)I;B24C9/00(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I;B24B27/033(2006.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 周毅;张正伟 | 申请（专利权）人 | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 |
| 代理机构 | 铜陵市天成专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 李坤 |
| 地址 | 244000安徽省铜陵市金桥经济开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体设备CVD装置Dome部件清洗保护治具，包括底座、上托架、支撑螺杆和中间支座，所述上托架通过连接螺杆固定在底座上方，底座上表面设有凹槽，凹槽内设有支撑螺杆，支撑螺杆一端连接凹槽侧壁，另一端连接凹槽中心位置的中间支座，中间支座上还设有矩形弹簧，将本治具装配预紧完成，然后将Dome从上托架口放入治具内至Dome下端接触矩形弹簧，调整Dome的下环面至上托架的装配槽口内，然后在将双手从上托架1上的两个抓取槽中拿出来，这样Dome就被平稳的固定在治具内完成下一步的清洗作业和周转运输。 |
