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一种半导体设备CirrusTi装置Shield部件溶射范围保护治具

基本信息

申请号 CN202020850042.5 申请日 -
公开（公告）号 CN212916835U 公开（公告）日 2021-04-09
申请公布号 CN212916835U 申请公布日 2021-04-09
分类号 B08B5/02;B29C45/14 分类 清洁;
发明人 后健华;张正伟 申请（专利权）人 安徽富乐德科技发展股份有限公司
代理机构 铜陵市天成专利事务所（普通合伙） 代理人 李坤
地址 244000 安徽省铜陵市金桥经济开发区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体设备CirrusTi装置Shield部件溶射范围保护治具，包括治具、预留槽和结构块，所述治具顶部开设有预留槽，所述治具内顶部焊接有结构块，结构块一侧通过安装槽安装有内侧密封圈，所述治具底部通过安装槽安装有一号密封圈，所述一号密封圈一侧通过安装槽安装有二号密封圈。本实用新型对于被保护的不锈钢部件表面不会留下残胶，污垢等副产物，溶射遮蔽保护治具可以重复利用，可代替手工胶带遮蔽部件的非溶射区域，具有使用方便，精度高，可重复使用及节省人力及物料成本的特点，适合被广泛推广和使用。