一种电子行业蒸镀设备的清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202010580860.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111715590B | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN111715590B | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | B08B3/02;B08B3/14;B24C1/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 张正伟;周伯成;王永东;王圣福;刘宇航 | 申请（专利权）人 | 安徽富乐德科技发展股份有限公司 |
| 代理机构 | 铜陵市天成专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 李坤 |
| 地址 | 244000 安徽省铜陵市金桥经济开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种电子行业蒸镀设备的清洗方法，通过先对蒸镀设备进行高压水洗能够有效清理大块残膜，进行喷砂清理能够对残膜进一步清理；最后采用先高压超声清洗再高压兆声清洗，能够有效清除掉蒸镀设备在蒸镀作业时附着的小颗粒杂质，清洗时间短，清洗效果好，耗能少。本发明的清洗效率高，无需长时间浸泡处理，清洗效果好；即使对残膜层厚超过1mm的蒸镀设备进行清洗，也能够在短时间内将残膜层给清除掉，清除效果好；清洗液为水，污染小，节能环保。 |
