用于硅片的毛刷辊双面清洗装置

基本信息

申请号 CN201921812234.0 申请日 -
公开(公告)号 CN211247458U 公开(公告)日 2020-08-14
申请公布号 CN211247458U 申请公布日 2020-08-14
分类号 B08B1/02(2006.01)I 分类 -
发明人 陈宏 申请(专利权)人 张家港市超声电气有限公司
代理机构 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 代理人 张家港市超声电气有限公司
地址 215600江苏省苏州市张家港市金港大道1001号张家港市超声电气有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置,包括机架以及水平设置在机架内的第一皮带和第二皮带,所述第一皮带的尾部与第二皮带的头部上下交错衔接,所述第二皮带设置在第一皮带上方,所述第一皮带的正上方以及第二皮带的正下方还设有毛刷辊组件,每个所述毛刷辊组件包括一对侧板、毛刷辊和一对从动辊。该清洗装置通过在毛刷辊两端设置一对可调高度的从动辊对正在受毛刷辊毛刷的硅片进行压紧限位,避免硅片因毛刷辊的力而移位,确保硅片经毛刷辊毛刷干净,从而提高清洗效率,且两个皮带首尾衔接并配以可调节的压辊组件,保证硅片的流畅性,且适合不同规格的硅片,适用性更广。