用于硅片的吸片传动机构

基本信息

申请号 CN201921875022.7 申请日 -
公开(公告)号 CN211140556U 公开(公告)日 2020-07-31
申请公布号 CN211140556U 申请公布日 2020-07-31
分类号 B65G21/20(2006.01)I;B65G47/53(2006.01)I 分类 -
发明人 陈宏 申请(专利权)人 张家港市超声电气有限公司
代理机构 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 代理人 张家港市超声电气有限公司
地址 215600江苏省苏州市张家港市金港大道1001号张家港市超声电气有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种用于硅片的吸片传动机构,包括机架,机架内设有依次衔接的水平输送装置和第二输送装置,第二输送装置包括第二传动轴、第三传动轴和主动轴,第二传动轴上固定套设有底部从动轮,第三传动轴上固定套设有中部从动轮,主动轴上固定套设有主动轮,底部从动轮的外侧、中部从动轮的外侧以及主动轮的外侧绕设有第二传送带,底部从动轮与中部从动轮之间的第二传送带垂直设置且与水平输送装置衔接,中部从动轮与主动轮之间的第二传送带水平设置,中间传动轮为大直径齿轮。该机构通过大直径齿轮来增加硅片分片输送过程中角度变化时的行程,使得硅片平缓的进行角度转换,避免出现碎片的现象,减少碎片率,提高经济效益。