用于晶圆的滑道机构
基本信息
| 申请号 | CN202110572949.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113270351A | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN113270351A | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈烔杰;汪胜 | 申请（专利权）人 | 张家港市超声电气有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市港澄专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 许莉莉 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港市金港大道1001号张家港市超声电气有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种用于晶圆的滑道机构，包括导流板，导流板的上端面并排凹设有若干流道，导流板沿流道的流动方向方向逐渐向下倾斜，流道内沿流道流动方向依次设有若干挡块，导流板的底部固定有多个水槽，导流板的上端面凹设有若干与水槽连通的进水孔，水槽与外部供水装置连接。该滑道机构通过导流板上均匀的出水孔在流道及导流板上形成水膜，使得晶圆悬浮在导流板上，避免滑道对晶圆造成损坏，同时流道内的挡块对水流进行阻碍限速，能更好的在导流板表面形成水膜，产生向上的浮力托举晶圆避免晶圆停留在导流板上，防止晶圆滑动不顺畅的现象产生。 |
