掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置
基本信息
| 申请号 | CN201610169973.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105739235A | 公开（公告）日 | 2016-07-06 |
| 申请公布号 | CN105739235A | 申请公布日 | 2016-07-06 |
| 分类号 | G03F1/84(2012.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 陈新宏 | 申请（专利权）人 | 常州鸿开电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州市维益专利事务所 | 代理人 | 路接洲 |
| 地址 | 213002 江苏省常州市天宁区关河中路143号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，包括底板、固定在底板两端的定位侧板，位于所述定位侧板之间的底板上相距设有：一对可作相近或相远移动而吸附住待检测掩膜板的吸盘体，所述吸盘体之间的底板上设有背光源，吸盘体内设有气体通道，吸盘体侧面连接有若干个与气体通道相通的气接头，搁置掩膜板处的吸盘体上表面具有与气体通道相通的长凹槽，所述的定位侧板上设有从吸盘体两端将吸盘体夹紧固定的紧固旋钮。本发明通过吸盘体作相远或相近的移动及内设的背光源,满足了不同尺寸规格掩模板光刻检测的定位和背景光要求，实现了真空吸附不同规格掩膜板及背景采光目的，节省了作业时间，提高了检测效率和检测质量。 |
