一种精密轮廓扫描测量系统
基本信息
| 申请号 | CN201710106572.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106895796A | 公开（公告）日 | 2017-06-27 |
| 申请公布号 | CN106895796A | 申请公布日 | 2017-06-27 |
| 分类号 | G01B11/24 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 孙明;赵善文 | 申请（专利权）人 | 西安五湖智联半导体有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 710000 陕西省西安市经济技术开发区凤城一路利君V时代1幢2单元21109室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种精密轮廓扫描测量装置，该装置包括：激光发射单元，用于产生激光束；扫描单元：激光束照射到MEMS振镜上，振镜将激光束反射，同时做扫描动作，使发射激光束的路径呈一定张角的扇形区域；光学单元：用于聚焦激被被测物漫反射回来的激光，同时滤除环境中存在的光噪声；接收单元：获取光斑位置，并输出用于计算距离。伺服单元：带动测距功能部分，完成空间扫描功能。中央处理单元，用于协调其余各单元的工作，实时计算被测物距离。本发明采用可控MEMS振镜作为扫描单元的扫描结构，振镜的高频率、小体积的特点可实现整个测距装置的小型化设计要求，且成本低廉，易于推广。 |
