一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪
基本信息
| 申请号 | CN201710974939.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107607252A | 公开（公告）日 | 2018-01-19 |
| 申请公布号 | CN107607252A | 申请公布日 | 2018-01-19 |
| 分类号 | G01L9/00;G01B21/02 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 孙明;赵善文 | 申请（专利权）人 | 西安五湖智联半导体有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 710016 陕西省西安市经济技术开发区凤城二路10号天地时代广场1幢2单元20812室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪，包括壳体，所述壳体内设置有气腔单元、气压采集单元、信号处理单元、显示单元和发送单元，所述气腔单元前端设置有进气孔，后端设置有出气孔、分压出气孔和漏气孔，所述各孔分别通过气路与气压采集单元相连，所述气压采集单元包括一组MEMS压力传感器。本发明采用MEMS压力传感器的亚微米精度气动微距仪适于小型化设计要求，且成本低廉，易于推广。 |
